คำถามและคำตอบเกี่ยวกับคุณสมบัติหลัก HMDS เป็นสารไวไฟหรือไม่?ใช่ - HMDS จัดอยู่ในประเภทไวไฟสูง (จุดวาบไฟ 17 องศา ) เก็บและจัดการให้ห่างจากแหล่งกำเนิดประกายไฟทั้งหมดในสถานที่ป้องกันการระเบิด- |HMDS ละลายในน้ำได้หรือไม่?ไม่มี - HMDS ทำปฏิกิริยากับน้ำและอากาศชื้น โดยไฮโดรไลซ์เป็นเฮกซาเมทิลไดซิลอกเซน (HMDSO) และแอมโมเนีย เกรดทั้งหมดจะต้องปราศจากน้ำอย่างเคร่งครัด |สูตร HMDS คืออะไร?C₆H₁₉NSi₂, สูตรโครงสร้าง (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃, MW 161.39 กรัม/โมล |HMDS เป็นพิษหรือไม่?HMDS เป็นอันตรายเมื่อสูดดม การสัมผัสทางผิวหนัง และการกลืนกิน จัดอยู่ในประเภทเป็นพิษเฉียบพลัน (ประเภท 4 ตาม GHS) มี SDS/MSDS ฉบับสมบูรณ์ตามคำขอ |HMDS pKa คืออะไรpKa ของกรดคอนจูเกต (HMDS·H⁺) มีค่าประมาณ 30 ใน THF ทำให้ HMDS เป็นเบสที่มีความเข้มข้นปานกลางซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในการสังเคราะห์สารอินทรีย์สำหรับการเกิดอีโนเลตและปฏิกิริยาการลดโปรตอน

ข้อมูลจำเพาะ	เกรดอุตสาหกรรม การรักษาพื้นผิว / สารตัวเติม	เกรดเภสัชกรรม การสังเคราะห์ยา (GMP)	เกรดอิเล็กทรอนิกส์ การพิมพ์หินเซมิคอนดักเตอร์
ความบริสุทธิ์ (GC)	มากกว่าหรือเท่ากับ 98.0%	มากกว่าหรือเท่ากับ 99.5%	มากกว่าหรือเท่ากับ 99.999% (5N) สูงถึง 6N สำหรับโหนดขั้นสูง
ปริมาณน้ำ	น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.1%	น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.02%	น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.005% (น้อยกว่าหรือเท่ากับ 50 ppm)
สี (Pt-Co)	น้อยกว่าหรือเท่ากับ 30	น้อยกว่าหรือเท่ากับ 10	น้อยกว่าหรือเท่ากับ 5
จุดเดือด	125–127 องศา	126.0–126.5 องศา	126.2 ± 0.2 องศา
จุดวาบไฟ	17 องศา (ถ้วยปิด)	17 องศา (ถ้วยปิด)	17 องศา (ถ้วยปิด)
สิ่งเจือปนของโลหะ	ไม่ระบุ	ไอออนเดี่ยวน้อยกว่าหรือเท่ากับ 10 ppm	ไอออนเดี่ยว น้อยกว่าหรือเท่ากับ 1 ppb (ระดับ PPT สำหรับโหนด 14 นาโนเมตร)
อายุการเก็บรักษา	6 เดือน (N₂-ปิดผนึก)	12 เดือน (N₂-ปิดผนึก มืด)	18 เดือน (ปิดผนึกแบบ N₂- สะอาดเป็นพิเศษ)
บรรจุภัณฑ์	ถังเหล็ก 180 กก กระเป๋า IBC 1,000 กก	ถัง HDPE ขนาด 20 ลิตร ถังเหล็กปิดผนึก N₂- 200 ลิตร	ถังบุควอตซ์-ขนาด 10 ลิตร ถังเหล็กสะอาดพิเศษ- 200 ลิตร

1. การพิมพ์หินเซมิคอนดักเตอร์ - ตัวเร่งการยึดเกาะด้วยแสง

HMDS คือมาตรฐานอุตสาหกรรม-โปรโมเตอร์การยึดเกาะ ไพรเมอร์ และสารเคลือบที่ไม่ชอบน้ำในการพิมพ์หินเวเฟอร์ซิลิคอน ซึ่งมีการบัญชีมากกว่า40% ของการใช้ HMDS ทั้งหมด. HMDS ใช้เป็นไพรเมอร์เฟสไอ-ก่อนการเคลือบโฟโตรีซิสต์ โดยจะทำปฏิกิริยากับหมู่ไฮดรอกซิลของพื้นผิว (Si–OH) บนเวเฟอร์เพื่อสร้างชั้นไตรเมทิลไซลิลที่ไม่ชอบน้ำที่มีความหนาแน่นสูง สิ่งนี้ช่วยปรับปรุงการยึดเกาะของไวแสงได้อย่างมาก ป้องกันการหลุดลอกในระหว่างการพัฒนา และกำจัดการก่อตัวของขอบเม็ดบีด - ช่วยให้มั่นใจได้ถึงรูปแบบวงจรละเอียดที่แม่นยำจนถึงโหนด 28 นาโนเมตรและต่ำกว่า.

ในขณะที่โหนดเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงก้าวหน้าไปถึง 14 นาโนเมตร, 7 นาโนเมตร และอื่นๆ ความต้องการด้านความบริสุทธิ์ก็เพิ่มขึ้นเป็นเกรด 5N (99.999%) และ 6Nโดยมีการควบคุมสิ่งเจือปนของโลหะที่ระดับ ppb–ppt ผลิตภัณฑ์ HMDS เกรดอิเล็กทรอนิกส์-ของเราใช้เทคโนโลยีการกำจัดเศษโลหะขั้นสูง ซึ่งเป็นไปตามมาตรฐานคุณสมบัติของโรงงานชั้นนำ รวมถึง SMIC, Yangtze Memory, Changxin Memory และ UMC

อ้างอิง:มาตรฐาน SEMI - ความบริสุทธิ์ของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ ↗

2. อุตสาหกรรมยา - สารซิลิเลตสำหรับการสังเคราะห์ยา

ในการสังเคราะห์ทางเภสัชกรรม HMDS ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในฐานะตัวแทนซิลิเลตเพื่อปกป้องกลุ่มฟังก์ชันโปรติกที่เกิดปฏิกิริยา (–OH, –NH₂, –COOH) ในตัวกลางยา ป้องกันปฏิกิริยาข้างเคียงที่ไม่พึงประสงค์ และปรับปรุงการเลือกปฏิกิริยาและผลผลิตผลิตภัณฑ์เป้าหมายอย่างมีนัยสำคัญ เป็นรีเอเจนต์หลักในการสังเคราะห์ส่วนผสมทางเภสัชกรรม (API) ที่ออกฤทธิ์ต้าน-เนื้องอก ยาต้านไวรัส และยาต้านการแพ้

HMDS เกรดยา-ทางเภสัชกรรมของเรา (มีความบริสุทธิ์มากกว่าหรือเท่ากับ 99.5% เข้ากันได้กับ GMP-) ได้รับการตรวจสอบโดยองค์กร CDMO เภสัชกรรมชั้นนำ และให้คุณภาพแบทช์ที่มั่นคงซึ่งจำเป็นสำหรับการวิจัยและพัฒนายาและการผลิต-ขนาดใหญ่

อ้างอิง:เภสัชตำรับของสหรัฐอเมริกา (USP) ↗

3. วัสดุและการรักษาพื้นผิว - สารไฮโดรโฟบิเซชั่น

HMDS มีประสิทธิภาพสูงตัวแทนการไม่ชอบน้ำสำหรับสารตัวเติมอนินทรีย์ เช่น ซิลิการมควันและไทเทเนียมไดออกไซด์ การปรับเปลี่ยนพื้นผิวด้วย HMDS ช่วยปรับปรุงความเข้ากันได้ของฟิลเลอร์และเมทริกซ์ในยางซิลิโคนและคอมโพสิตอีพอกซีเรซินได้อย่างมาก เพิ่มคุณสมบัติทางกล (ความเหนียว ความต้านทานแรงดึง) และทนต่อสภาพอากาศ มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในวัสดุห่อหุ้ม OLED และการบำบัดกระจกโมดูลเซลล์แสงอาทิตย์ โดยที่พื้นผิวที่ได้รับการปรับเปลี่ยน HMDS- จะแสดงประสิทธิภาพการป้องกันความชื้นที่ดีขึ้นอย่างเห็นได้ชัด ช่วยยืดอายุการใช้งานในสภาพแวดล้อมกลางแจ้งที่รุนแรง

สำหรับการรักษาพื้นผิวแก้ว เซรามิก และโลหะ, HMDS สร้างฟิล์มที่ไม่ชอบน้ำที่มีพันธะโควาเลนต์หนาแน่น ซึ่งป้องกันการดูดซับความชื้นและการกัดกร่อน

อ้างอิง:PubChem - เฮกซาเมทิลไดซิลาเซน (NIH) ↗

4. เคมีวิเคราะห์และเคมีภัณฑ์ละเอียด

ในเคมีวิเคราะห์ HMDS ถูกใช้เป็นรีเอเจนต์อนุพันธ์สำหรับการวิเคราะห์ GC ของสารประกอบโปรติก (แอลกอฮอล์ ฟีนอล กรดคาร์บอกซิลิก) อนุพันธ์ไซลิเลตมีความผันผวนสูงขึ้นและการแยกโครมาโตกราฟีที่ดีขึ้น ช่วยให้สามารถวิเคราะห์เชิงปริมาณของสารปริมาณน้อยในเมทริกซ์เชิงซ้อนได้อย่างแม่นยำ

สำหรับสารเคมีชั้นดี HMDS ทำหน้าที่เป็นตัวกลางสำหรับ-สารลดแรงตึงผิวซิลิโคนระดับไฮเอนด์และเรซินซิลิโคนที่ใช้ในสารเคมีรายวันและการพิมพ์สิ่งทอ ตลาด HMDS เกรดอิเล็กทรอนิกส์-คาดว่าจะเติบโตที่ CAGR 18.3% จนถึงปี 2026 ได้แรงหนุนจากการเร่งการแปลเซมิคอนดักเตอร์ให้เข้ากับท้องถิ่นและการขยายกำลังการผลิต CDMO ทางเภสัชกรรม

อ้างอิง:การลงทะเบียน ECHA REACH - HMDS ↗

5. HMDS เป็นฐาน - LiHMDS, NaHMDS & KHMDS

นอกเหนือจากบทบาทในฐานะสารไซลิเลตแล้ว HMDS ยังเป็นตัวตั้งต้นสำคัญของฐานเอไมด์โลหะที่ใช้กันอย่างแพร่หลาย:LiHMDS(ลิเธียม เฮกซาเมทิลไดซิลาไซด์, ลิเธียม บิส(ไตรเมทิลไซลิล)เอไมด์),NaHMDS(โซเดียมเฮกซาเมทิลไดซิลาไซด์) และKHMDS(โพแทสเซียม เฮกซาเมทิลไดซิลาไซด์) เบสที่แข็งแกร่งและถูกขัดขวางเหล่านี้เป็นรีเอเจนต์ที่จำเป็นในการสังเคราะห์ทางเภสัชกรรมและการสังเคราะห์ทางเคมีชั้นดีสำหรับการสร้างอีโนเลตแบบคัดเลือก การลดโปรตอนโดยตรง และปฏิกิริยาไม่สมมาตรที่ปริมาณสเตอริกและการเลือกใช้ทางเคมีมีความสำคัญ

LiHMDS(CAS 4039-32-1) เป็นสารที่ใช้กันอย่างแพร่หลายมากที่สุด โดยมีค่าความเป็นเบสสูง (pKa ~30 ใน THF) และมีความสามารถในการละลายที่ดีเยี่ยมในตัวทำละลายไม่มีตัวตนNaHMDSและKHMDSให้การเกิดปฏิกิริยาเพิ่มขึ้น และใช้ในกรณีที่ LiHMDS มีปฏิกิริยาไม่เพียงพอ ทั้งสามชนิดผลิตจาก HMDS เป็นวัสดุตั้งต้นหลัก ทำให้แหล่งจ่าย HMDS ที่มีความบริสุทธิ์สูง-มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการผลิต

เราจัดหา HMDS ที่มีความบริสุทธิ์สูง-ซึ่งเหมาะเป็นวัตถุดิบสำหรับการผลิต LiHMDS, NaHMDS และ KHMDS ติดต่อเราเพื่อขอข้อมูลจำเพาะจำนวนมาก

⚠️ หมายเหตุด้านความปลอดภัยที่สำคัญ:HMDS คือไวไฟสูง(จุดวาบไฟ 17 องศา ) และทำปฏิกิริยารุนแรงกับน้ำปล่อยแอมโมเนียออกมา จัดเก็บและจัดการเฉพาะในสภาพแวดล้อมที่มีการป้องกันไนโตรเจน-และป้องกันการระเบิด- อย่าใช้น้ำเพื่อดับไฟ HMDS

เคล็ดลับการกำหนดราคาจำนวนมาก:โดยทั่วไปคำสั่งซื้อที่สูงกว่า 50 MT จะมีสิทธิ์ได้รับส่วนลด 5–10% 200+ สัญญา MT/ปีสามารถประหยัดเงินได้ 10–15% การจัดส่งด้วยรถบรรทุกแท็งก์ช่วยลด-ค่าขนส่งต่อหน่วยได้ 8–12% เมื่อเทียบกับบรรจุภัณฑ์แบบดรัม ข้อตกลงระยะยาว- (1-3 ปี) รวมถึงการจัดสรรอุปทานตามลำดับความสำคัญในช่วงฤดูที่มีอุปสงค์เซมิคอนดักเตอร์สูงสุดขอใบเสนอราคา HMDS แบบกำหนดเอง →

ถาม: HMDS ย่อมาจากอะไร HMDS แบบเต็มคืออะไร?

HMDS ย่อมาจากเฮกซาเมทิลไดซิลาเซน- ชื่อเต็มทางเคมีคือ 1,1,1,3,3,3-hexamethyldisilazane หรือเขียนเป็น hexa methyl disilazane ในวิชาเคมี HMDS อ้างถึงสารประกอบออร์กาโนซิลิกอนนี้โดยเฉพาะ (CAS 999-97-3) ที่มีโครงสร้าง (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ หมายเหตุ: "HMDS" ยังใช้เป็นคำย่อในสาขาที่ไม่เกี่ยวข้อง (เช่น บริบททางการแพทย์ การทหาร หรือเกษตรกรรม) แต่ในบริบทการผลิตเคมีและเซมิคอนดักเตอร์ HMDS หมายถึง hexamethyldisilazane อย่างสม่ำเสมอ

ถาม: HMDS ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อย่างไร

HMDS ใช้เป็นสารเร่งการยึดเกาะเฟส-ด้วยไอ (ไพรเมอร์) ที่ใช้กับพื้นผิวเวเฟอร์ซิลิคอนก่อนเคลือบด้วยแสง มันทำปฏิกิริยากับกลุ่ม Si-OH ของพื้นผิวเพื่อสร้างโมโนเลเยอร์ trimethylsilyl ที่ไม่ชอบน้ำ ซึ่งช่วยเพิ่มการยึดเกาะของโฟโตรีซิสได้อย่างมาก ป้องกันการหลุดออกในระหว่างการพัฒนาแบบเปียก และรับประกันความแม่นยำของมิติของรูปแบบวงจรละเอียด เป็นวัสดุกระบวนการมาตรฐานสำหรับโรงงานผลิตเวเฟอร์ซิลิคอนแทบทุกแห่งทั่วโลก ตั้งแต่สายการผลิตการพิมพ์หิน EUV ขนาด 200 มม. แบบเดิมไปจนถึง-ขอบชั้นนำ 300 มม. EUV

ถาม: HMDS เกรดอุตสาหกรรมและเกรดอิเล็กทรอนิกส์แตกต่างกันอย่างไร

เกรดอุตสาหกรรม ( มากกว่าหรือเท่ากับ 98.0%) เหมาะสำหรับการชุบผิวสารตัวเติม (ซิลิกาฟูม, TiO₂) การเคลือบ และการใช้งานไซลิเลชั่นทั่วไปที่ปริมาณโลหะปริมาณน้อยไม่สำคัญ เกรดอิเล็กทรอนิกส์ (มากกว่าหรือเท่ากับ 99.999%, 5N) กำหนดให้มีโลหะเจือปนต่ำกว่า 1 ppb - ซึ่งจำเป็นสำหรับการพิมพ์หินเซมิคอนดักเตอร์ โดยที่การปนเปื้อนของโลหะต่ำกว่า-ppb อาจทำให้อุปกรณ์ทำงานล้มเหลว เกรดอิเล็กทรอนิกส์บรรจุภายใต้เงื่อนไข-ความสะอาดเป็นพิเศษ ISO 14644 ในถังเหล็กสะอาดพิเศษ-ที่มีเส้นควอทซ์หรือได้รับการรับรอง- โดยแต่ละชุดจะมีรายงานโลหะติดตาม ICP-MS ฉบับเต็ม

ถาม: เหตุใด HMDS จึงทำปฏิกิริยากับน้ำ และควรจัดเก็บอย่างไร

HMDS มีพันธะ Si–N–Si ที่ไวต่อการไฮโดรไลซิสสูง: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH + NH₃ แอมโมเนียที่ปล่อยออกมาจะสร้างแรงดันสะสมในภาชนะที่ปิดสนิท และผลที่ตามมาคือเฮกซาเมทิลไดซิลอกเซน (HMDSO) จะทำให้ผลิตภัณฑ์ปนเปื้อน ดังนั้นเกรดทั้งหมดจึงต้องเก็บไว้ภายใต้ไนโตรเจนแห้งในภาชนะปิดสนิทที่อุณหภูมิ 0–25 องศา ห่างจากแหล่งความชื้นใดๆ ภาชนะที่เปิดอยู่ควร-ปิดผนึกใหม่ทันทีและปิดด้วยไนโตรเจนหลังการใช้งานแต่ละครั้ง

ถาม: HMDS คืออะไร และแตกต่างจาก HMDSO อย่างไร

HMDS (hexamethyldisilazane, CAS 999-97-3) มีการเชื่อมโยง Si–N–Si และเป็นรีเอเจนต์ไซลิเลตแบบแอคทีฟ HMDSO (hexamethyldisiloxane, CAS 107-46-0) มีการเชื่อมโยง Si–O–Si และเป็นผลพลอยได้จากไฮโดรไลซิสของ HMDS ซึ่งมีปฏิกิริยาน้อยกว่ามาก HMDS ถูกใช้เป็นตัวปรับพื้นผิวทางเคมีและรีเอเจนต์ไซลิเลชัน HMDSO ส่วนใหญ่จะใช้เป็นของเหลวซิลิโคนที่ไม่ทำปฏิกิริยาและวัตถุดิบสำหรับการสังเคราะห์ HMDS ทั้งสองไม่ควรสับสนเมื่อระบุวัสดุสำหรับการพิมพ์หินหรือกระบวนการทางเภสัชกรรม

ถาม: ฉันควรขอใบรับรองอะไรบ้างจากซัพพลายเออร์ HMDS

สำหรับการใช้งานทางอุตสาหกรรม: ISO 9001 (การจัดการคุณภาพ) และ ISO 14001 (สิ่งแวดล้อม) สำหรับเกรดยา: การปฏิบัติตาม GMP ความสามารถในการจัดทำ COA อ้างอิง USP/EP- และ-รายงานการควบคุมคุณภาพของบุคคลที่สาม สำหรับเกรดอิเล็กทรอนิกส์: การยืนยันคุณสมบัติการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นปลาย (เช่น การรับรอง SMIC, UMC), การปฏิบัติตามมาตรฐาน SEMI F47 หรือวัสดุที่เทียบเท่า, ICP ฉบับสมบูรณ์-รายงานโลหะติดตาม MS ต่อชุด และบรรจุภัณฑ์ที่สะอาดที่ได้รับการรับรอง ISO 14644 เกรดทั้งหมดควรมีการจดทะเบียน REACH และ TSCA ในปัจจุบันสำหรับการส่งออกระหว่างประเทศ

ถาม: ทางเลือกหลักๆ แทน HMDS คืออะไร และควรใช้ HMDS เมื่อใด

สารทดแทนไซลิเลตทั่วไป ได้แก่ ไตรเมทิลคลอโรซิเลน (TMCS), N-เมทิล-N-ไตรเมทิลไซลิลอะซีทาไมด์ (MSA) และ N,O-บิส(ไตรเมทิลไซลิล)อะซีตาไมด์ (BSA) HMDS เหมาะกว่าเมื่อจำเป็นต้องมีสภาวะปฏิกิริยาที่ไม่รุนแรง (ไม่ใช้ HCl ตาม- ผลิตภัณฑ์) เมื่อผลผลิตไซลิเลชั่นสูงเป็นสิ่งสำคัญ หรือเมื่อกระบวนการต้องการการปนเปื้อนน้อยที่สุดจากผลิตภัณฑ์ - ที่มีฤทธิ์กัดกร่อน - ทำให้เป็นตัวเลือกมาตรฐานสำหรับการบำบัดแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์และการสังเคราะห์ทางเภสัชกรรม สำหรับการไม่ชอบน้ำในอุตสาหกรรมปริมาณมากโดยที่ต้นทุนเป็นตัวขับเคลื่อนหลัก TMCS อาจถูกนำมาใช้เป็นทางเลือกที่มีต้นทุนต่ำกว่า-